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論文・著書情報


タイトル
和文:パルスプラズマCVD法によるアモルファス炭素膜の合成と酸素透過率評価 
英文: 
著者
和文: 大曽根祐樹, 西 英隆, 村上碩哉, 大竹尚登.  
英文: Yuki Osone, 西 英隆, Hiroya MURAKAMI, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 223-224
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2007年度精密工学会秋季講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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