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論文・著書情報


タイトル
和文:パルスプラズマによるDLCの合成とトライボロジー特性評価 
英文: 
著者
和文: 大竹尚登.  
英文: NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:プラズマ材料科学第153委員会 第83回研究会資料『実用プラズマプロセス技術の最前線』～カーボン系とシリコン系プロセスの違いは何だ？～ 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 20-37
出版年月 2007年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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