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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:DLC Films Preparation at Atmospheric Pressure by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition 
著者
和文: 大竹 尚登.  
英文: NAOTO OHTAKE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Abstracts of 1st International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－ 
巻, 号, ページ         pp. 4-5
出版年月 2009年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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