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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノパルスプラズマCVD法による大気圧下でのDLC合成 
英文: 
著者
和文: 大竹尚登, 齋藤隆雄, 近藤好正.  
英文: NAOTO OHTAKE, 齋藤隆雄, 近藤好正.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:表面技術 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 60        pp. 376-379
出版年月 2009年6月 
出版者
和文:社団法人表面技術協会 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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