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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Role of halogen in low-temperature growth of polycrystalline thin films by reactive thermal CVD 
著者
和文: 佐々木直人, 半那純一.  
英文: Naoto Sasaki, Jun-ichi Hanna.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Non-Crystalline Solids 
巻, 号, ページ Vol. 354    No. 18-25    pp. 2079-2082
出版年月 2008年6月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2007.09.018

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