CeOX/La2O3積層ゲート絶縁膜構造の膜特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	CeOX/La2O3積層ゲート絶縁膜構造の膜特性評価
英文:

著者

和文:	船水清永, 幸田みゆき, 舘喜一, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Kiyohisa Funamizu, Miyuki Kouda, Kiichi Tachi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 703

出版年月

2008年9月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	秋季第69回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	中部大学
英文: