Hf層界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調技術

論文・著書情報

タイトル

和文:	Hf層界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調技術
英文:

著者

和文:	又野克哉, 野口浩平, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Katuya Matano, Kohei Noguchi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 751

出版年月

2008年9月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	秋季第69回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	中部大学
英文: