Effects of aspect ratio of micro-sized photoresist patterns on bond strength between a Si substrate with AFM facture observation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of aspect ratio of micro-sized photoresist patterns on bond strength between a Si substrate with AFM facture observation

著者

和文:	石山千恵美, 柴田曉伸, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	Chiemi Ishiyama, Akinobu Shibata, Masato Sone, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 1139 p. G03.09

出版年月

2009年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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