Effects of nitrogen incorporation into lanthana film by plasma immersion ion implantation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of nitrogen incorporation into lanthana film by plasma immersion ion implantation

著者

和文:	B Sen, H Wong, B.L. Yang, P.K. Chu, 角嶋邦之, 岩井洋.
英文:	B Sen, H Wong, B.L. Yang, P.K. Chu, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solid-State Electronics

巻, 号, ページ

Vol. 53 pp. 355-358

出版年月

2009年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI