Thermal-stability improvement of LaON thin film formed using nitrogen radicals

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermal-stability improvement of LaON thin film formed using nitrogen radicals

著者

和文:	佐藤創志, 舘喜一, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Soshi Sato, Kiichi Tachi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 84 pp. 1894-1897

出版年月

2007年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI