CVD-Produced Polycrystalline Silicon Thin Film Prepared by Fluorine-Mediated Crystal Growth on a Glass Substrate and its Thin Film Transistor Application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	CVD-Produced Polycrystalline Silicon Thin Film Prepared by Fluorine-Mediated Crystal Growth on a Glass Substrate and its Thin Film Transistor Application

著者

和文:	Lim Cheol, Jeong-Woo Lee, 半那純一.
英文:	Cheol-hyun Lim, Jeong-Woo Lee, Jun-ichi Hanna.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Chem. Vapor. Depo.

巻, 号, ページ

Vol. 14 No. 5-6 pp. 107-110

出版年月

2008年7月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI