Nucleation and growth of poly-Si films deposited directly on glass substrate in reactive thermal-chemical vapour deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nucleation and growth of poly-Si films deposited directly on glass substrate in reactive thermal-chemical vapour deposition

著者

和文:	Cheol-hyun Lim, Jeong-Woo Lee, 半那純一.
英文:	Cheol-hyun Lim, Jeong-Woo Lee, Jun-ichi Hanna.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin solid films

巻, 号, ページ

Vol. 517 No. 8 pp. 2627-2632

出版年月

2008年6月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI