マイクロ波励起による希ガス混入酸素プラズマの特性解析

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波励起による希ガス混入酸素プラズマの特性解析
英文:	Measurement of oxygen-rare gas mixed microwave-discharge plasmas

著者

和文:	高井渉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	wataru takai, Atsushi Nezu, HARUAKI MATSUURA, HIROSHI AKATSUKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
英文:	The Papers of Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology, Pulsed Power Technology and Electrical Discharges, IEE Japan

巻, 号, ページ

Vol. PST-09-22~40 # PST-09-25 pp. 19-23

出版年月

2009年8月

出版者

和文:	社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	電気学会研究会プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
英文:	Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology, Pulsed Power Technology and Electrical Discharges, IEE Japan

開催地

和文:	同志社大学（今出川キャンパス）
英文:	Doshisha University, Imadegawa Campus