Effect of Source Supply Methods on Low-Temperature Preparation of Lead Zirconate Titanate Thin Films Using SrTiO<sub>3</sub> Seed Layers by Metallorganic Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Source Supply Methods on Low-Temperature Preparation of Lead Zirconate Titanate Thin Films Using SrTiO₃ Seed Layers by Metallorganic Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	文志原, S.Tazawa, 脇谷尚樹, T.Kiguchi, Y.Ishida, 水谷惟恭, 篠崎和夫.
英文:	J.-W.Moon, S.Tazawa, N.Wakiya, T.Kiguchi, Y.Ishida, N. Mizutani, K.Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solid State Phenomena

巻, 号, ページ

Vol. 124-126 pp. 153-156

出版年月

2007年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI