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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価 
英文: 
著者
和文: 脇谷尚樹, 鈴木久男, 篠崎和夫.  
英文: Naoki Wakiya, Hisao Suzuki, KAZUO SHINOZAKI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:セラミックス製造プロセス、応用技術大全集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 571-581
出版年月 2007年 
出版者
和文:技術情報協会 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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