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論文・著書情報


タイトル
和文:RFプラズマCVD法を用いたDLC薄膜の原料ガス水素割合による特性変化 
英文: 
著者
和文: 大石竜輔, 藤本真司, 大竹尚登, 井上泰志, 高井治.  
英文: 大石竜輔, 藤本真司, NAOTO OHTAKE, 井上泰志, Osamu Takai.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第120回講演大会講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 182-182
出版年月 2009年9月 
出版者
和文:社団法人表面技術協会 
英文: 
会議名称
和文:表面技術協会第120回講演大会 
英文: 
開催地
和文:千葉県・幕張メッセ 
英文: 

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