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論文・著書情報


タイトル
和文:高性能薄膜ネオジム永久磁石を用いた片持ばり型マイクロアクチュエータの変位測定と位置決め制御 
英文: 
著者
和文: 後藤俊治, 田辺亮, Yao Sen, 櫻井淳平, 進士忠彦, 上原 稔, 山本 日登志.  
英文: 後藤俊治, Ryo Tanabe, Sen Yao, Junpei Sakurai, TADAHIKO SHINSHI, 上原 稔, 山本 日登志.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 793-794
出版年月 2009年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2009年度 精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:長野 
英文: 

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