Characterization of the Elastic Properties of SU-8 Microposts and Their Adhesion Strength to Silicon Substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of the Elastic Properties of SU-8 Microposts and Their Adhesion Strength to Silicon Substrates

著者

和文:	Joao Gasper, 石山千恵美, 曽根正人, 肥後矢吉, Oliver Paul.
英文:	Joao Gasper, CHIEMI ISHIYAMA, Masato Sone, YAKICHI HIGO, Oliver Paul.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of MRS fall meeting 2009

巻, 号, ページ

出版年月

2009年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: