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論文・著書情報


タイトル
和文:酸素拡散と熱伝導による非晶質シリカ薄膜の構造の研究 
英文: 
著者
和文: 須佐匡裕.  
英文: Masahiro Susa.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名: 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号 乙第2095号 
学位授与日 1990/09/30 
審査員 永田和宏.  
ファイル   

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