酸素プラズマ照射による酸化チタン前駆体薄膜の低温結晶化 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸素プラズマ照射による酸化チタン前駆体薄膜の低温結晶化
英文:

著者

和文:	有光直樹.
英文:	Naoki Arimitsu.

種別

種別:	学位論文(修士)
国名:

言語

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

学位授与日

2006/03/--

審査員

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.