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タイトル
和文:パルスMOCVD法PZT系強誘電体薄膜の微構造と誘電特性に及ぼす原料供給方式の影響 
英文:パルスMOCVD法PZT系強誘電体薄膜の微構造と誘電特性に及ぼす原料供給方式の影響 
著者
和文: 藤戸啓輔.  
英文: keisuke fujito.  
種別
種別:学位論文(修士) 
国名: 
言語  
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号  
学位授与日 2003/--/-- 
審査員  

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