A New, High Precision, Quick Response Pressure Regulator for Active Control of Pneumatic Vibration Isolation Tables

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A New, High Precision, Quick Response Pressure Regulator for Active Control of Pneumatic Vibration Isolation Tables

著者

和文:	加藤友規, 川嶋健嗣, 舩木達也, 只野耕太郎, 香川利春.
英文:	Tomonori Kato, Kenji Kawashima, Tatsuya Funaki, Kotaro Tadano, Toshiharu Kagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision and Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 34 pp. 43-48

出版年月

2010年1月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

DOI