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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Overwhelming the o.5 nm EOT Level for CMOS Gate Dielectric 
著者
和文: 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋.  
英文: Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ vol. 25    No. 7    pp. 171-175
出版年月 2009年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ECS 216th Meeting 
開催地
和文: 
英文:Vienna, Austria 
DOI https://doi.org/10.1149/1.3203953

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