OPTIMIZATION OF CONTACT HOLE FORMATION PROCESS BY REACTIVE ION ETCHING FOR CUBIC SILICON CARBIDE / SILICON HETEROJUNCTION SOLAR CELLS WITH HYDROGENATED AMOURPHOUS ALUMINUM OXIDE REAR SURFACE PASSIVATION LAYER

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	OPTIMIZATION OF CONTACT HOLE FORMATION PROCESS BY REACTIVE ION ETCHING FOR CUBIC SILICON CARBIDE / SILICON HETEROJUNCTION SOLAR CELLS WITH HYDROGENATED AMOURPHOUS ALUMINUM OXIDE REAR SURFACE PASSIVATION LAYER

著者

和文:	入川淳平, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Junpei Irikawa, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2009年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	24th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition

開催地

和文:
英文:	Hamburg