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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Low-Temperature Fabrication of Amorphous InGaZnO4 Thin-Film Transistors Utilizing Excimer 
著者
和文: 中田 充, 竹知 和重, 山口 伸也, 徳光 永輔, Hiroshi Tanabe, 金子 節夫.  
英文: Mitsuru Nakata, Kazushige Takechi, Shinya Yamaguchi, Eisuke Tokumitsu, Hiroshi Tanabe, Setsuo Kaneko.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年1月 
出版者
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会議名称
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英文:LaserInternational Workshop on Transparent Amorphous Oxide Semiconductors(TAOS 2010) 
開催地
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英文: 

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