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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノエレクトロメカニカル構造を有するシリコンナノ機能デバイス 
英文: 
著者
和文: 水田 博, 土屋良重, 小田俊理.  
英文: hiroshi mizuta, Yoshishige Tsuchiya, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2009年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第70回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:富山 
英文:Toyama,Japan 

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