Low-leakage MIS structures with 1.5-6 nm CaF2 insulating layer on Si(111)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low-leakage MIS structures with 1.5-6 nm CaF2 insulating layer on Si(111)

著者

和文:	N. S. Sokolov, I. V. Grekhov, S. Ikeda, A. K. Kaveev, A.V. Krupin, K. Saiki, 筒井一生, S. E. Tyaginov, M. I. Vexler.
英文:	N. S. Sokolov, I. V. Grekhov, S. Ikeda, A. K. Kaveev, A.V. Krupin, K. Saiki, K. Tsutsui, S. E. Tyaginov, M. I. Vexler.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

vol. 84 pp. 2247-2250

出版年月

2007年1月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI