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論文・著書情報


タイトル
和文:微細シリコンデバイスに要求される各種高性能薄膜 
英文: 
著者
和文: 岩井洋, 大見俊一郎.  
英文: HIROSHI IWAI, Shun-ichiro OHMI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 69    No. 1    pp. 4-14
出版年月 2000年1月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.69.4

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