マイクロ波放電酸素プラズマの解離度に対する希ガス混入効果のアクチノメトリー測定

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波放電酸素プラズマの解離度に対する希ガス混入効果のアクチノメトリー測定
英文:	Actinometry Measurement of Rare-Gas Mixture Effect on the Dissociation Degree of Microwave Discharge Oxygen Plasma

著者

和文:	高井渉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	wataru takai, Atsushi Nezu, HARUAKI MATSUURA, HIROSHI AKATSUKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成２２年電気学会全国大会講演論文集
英文:	The 2010 Annual Meeting Record, I.E.E. Japan

巻, 号, ページ

p. 220

出版年月

2010年3月

出版者

和文:	電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	平成２２年電気学会全国大会
英文:	The 2010 Annual Meeting, I.E.E. Japan

開催地

和文:	明治大学、東京
英文:	Meiji University, Tokyo, Japan