ミクロンサイズ試験片によるMEMS用微小材料の機械的性質に関する研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ミクロンサイズ試験片によるMEMS用微小材料の機械的性質に関する研究
英文:

著者

和文:	小山聡.
英文:	小山聡.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第6874号

学位授与日

2007/03/26

審査員

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