Patterning of β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> for device fabrication

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Patterning of β-Ga₂O₃ for device fabrication

著者

和文:	大島孝仁, 奥野剛也, 新井直樹, 小林恭, 藤田静雄.
英文:	Takayoshi Oshima, Takeya Okuno, Naoki Arai, Yasushi Kobayashi, Shizuo Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

16p-P167

出版年月

2009年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	6th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics

開催地

和文:
英文:	Kanagawa, Japan