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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Towards the Ultimate Scaling of MOSFET Gate Dielectrics - Direct Contact of High-k and Silicon- 
著者
和文: パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 岩井洋.  
英文: Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年4月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ECS 217th 
開催地
和文: 
英文:Vancouver, Canada 

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