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論文・著書情報


タイトル
和文:DLCの合成と応用について 
英文:On Preparation and Application of DLC Films 
著者
和文: 大竹尚登.  
英文: NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:薄膜・材料と真空技術調査報告書 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 1-15
出版年月 2010年3月 
出版者
和文:日本真空工業会 技術委員会「薄膜・材料と真空技術」調査ワーキンググループ 
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会議名称
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開催地
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