ミストCVD法によるsapphire基板上α-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 薄膜の成長

論文・著書情報

タイトル

和文:	ミストCVD法によるsapphire基板上α-Ga₂O₃ 薄膜の成長
英文:

著者

和文:	篠原大輔, 西中浩之, 大島孝仁, 騎馬啓嗣, 鎌田雄大, 川原村敏幸, 藤田静雄.
英文:	Daisuke Shinohara, Hiroyuki Nishinaka, Takayoshi OSHIMA, Keiji Kiba, Yudai Kamada, Toshiyuki Kawaharamura, Shizuo Fujita.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

28a-W-2

出版年月

2008年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2008年春季第55回応用物理学会関係連合講演会

開催地

和文:
英文:	日本大学