シリコンへの重水素イオン注入効果 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	シリコンへの重水素イオン注入効果
英文:

著者

和文:	片渕竜也, 河地有木, 山田直樹, 田岸義宏.
英文:	Tatsuya Katabuchi, 河地有木, 山田直樹, 田岸義宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

7a S-13

出版年月

1997年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本物理学会 1997年秋の分科会
英文:

開催地

和文:	神戸大学
英文:

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