A Newly Developed Three-Dimensional Profile Scanner with Nanometer Spatial Resolution

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Newly Developed Three-Dimensional Profile Scanner with Nanometer Spatial Resolution

著者

和文:	新野秀憲, 吉岡勇人, 後閑利通, 澤野宏.
英文:	Hidenori SHINNO, Hayato YOSHIOKA, Toshimichi GOKAN, Hiroshi SAWANO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	CIRP Annals - Manufacturing Technology (International Academy of Production Engineering)

巻, 号, ページ

Vol. 59 No. 1 pp. 525-528

出版年月

2010年6月

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI