Three-dimensional nano-positioning system for compact CMM

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Three-dimensional nano-positioning system for compact CMM

著者

和文:	澤野宏, 後閑利通, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Hiroshi SAWANO, Toshimichi GOKAN, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the euspen International Conference

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 144-147

出版年月

2010年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	euspen International Conference

開催地

和文:
英文:	Delft, Netherlands

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