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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deposition of Poly-SiGe Thin Films by Reactive Thermal CVD and Their TFT Applications 
著者
和文: 半那 純一, Lim Cheol.  
英文: Jun-ichi Hanna, Cheol-hyun Lim.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:Proceedings of MRS Spring Meeting 2010 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年4月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:MRS Spring Meeting 2010 
開催地
和文: 
英文:San Francisci, USA 

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