Void-free nickel pattern electroplated with supercritical carbon dioxide emulsions

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Void-free nickel pattern electroplated with supercritical carbon dioxide emulsions

著者

和文:	TSO-FUMARK CHANG, 田崎俊和, 石山千恵美, 曽根正人.
英文:	Tso-Fu Mark Chang, Toshikazu Tasaki, CHIEMI ISHIYAMA, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MNE 2010

巻, 号, ページ

p. P-MEMS-9

出版年月

2010年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNE 2010, 36th International Conference on Micro& Nano Engineering

開催地

和文:
英文:	Genoa, Italy