Effects of Addition of Resin Particles to Ceria-Based Slurry on Pre-Metal Dielectric Planarization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Addition of Resin Particles to Ceria-Based Slurry on Pre-Metal Dielectric Planarization

著者

和文:	松井之輝, Hajime Eda, Satoko Seta, Takatoshi Ono, Yoshikuni Tateyama, Takeshi Nishioka, Hiroyuki Yano, 益子正文.
英文:	Yukiteru Matsui, Hajime Eda, Satoko Seta, Takatoshi Ono, Yoshikuni Tateyama, Takeshi Nishioka, Hiroyuki Yano, Masabumi Masuko.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of The Electrochemical Society

巻, 号, ページ

Vol. 157 No. 5 pp. H510-H515

出版年月

2010年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI