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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabrication of sub-20 nm nanostructures by combination of nano plastic forming and etching (NPFE) 
著者
和文: HASSAN RASHIDI, 吉野 雅彦.  
英文: Hassan Rashidi, Masahiko Yoshino.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Micromech. Microeng. 
巻, 号, ページ Vol. 20       
出版年月 2010年8月 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1088/0960-1317/20/9/095003

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