Emergence of (001) prefered orientation in AlN film using ultrathin Pt/AlN buffer layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Emergence of (001) prefered orientation in AlN film using ultrathin Pt/AlN buffer layer

著者

和文:	春本高志, 村石信二, 史蹟, 中村吉男.
英文:	Takashi Harumoto, Shinji Muraishi, Ji Shi, Yoshio Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstract book of RSD2009

巻, 号, ページ

poster 8

出版年月

2009年12月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009
英文:

開催地

和文:
英文:	The University of Manchester, UK

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DOI