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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Decomposition of Tetrafluoromethane by Water Plasma Generated under Atmospheric Pressure 
著者
和文: 娜仁格日楽, 齊藤 寛典, 渡辺 隆行.  
英文: Narengerile, Hironori Saito, Takayuki Watanabe.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ Vol. 518    No. 3    pp. 929-935
出版年月 2009年12月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.07.164

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