Precise  Position Control of Coarse/Fine Dual Stage using Pneumatic  Actuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Precise Position Control of Coarse/Fine Dual Stage using Pneumatic Actuators

著者

和文:	只野耕太郎, 新井豪, 川嶋健嗣, 藤田壽憲, 香川利春.
英文:	Kotaro Tadano, Takeshi Arai, Kenji Kawashima, Toshinori Fujita, Toshiharu Kagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	World Automation Congress 2010

巻, 号, ページ

出版年月

2010年9月

出版者

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英文:

会議名称

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開催地

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英文: