Development of Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet Source and Measurement of Fundamental Properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet Source and Measurement of Fundamental Properties

著者

和文:	平位英之, 佐々木良太, 高松利寛, 柴田萌, 市川正紀, 宮原秀一, 沖野晃俊.
英文:	Hideyuki Hirai, ryouta sasaki, Toshihiro Takamatsu, Moe Shibata, Masaki Ichikawa, Hidekazu Miyahara, Akitoshi Okino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

CTP 126 p. 38

出版年月

2010年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	63rd Gaseous Electronics Conference/28th Symposium on Plasma Processing/7th International Conference on Reactive Plasmas

開催地

和文:
英文:	Maison de La Chimie, Paris, France