液体プロセスによるIn2O3及びIn-Zn-O(IZO)薄膜の形成と酸化物チャネル薄膜トランジスタへの応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	液体プロセスによるIn2O3及びIn-Zn-O(IZO)薄膜の形成と酸化物チャネル薄膜トランジスタへの応用
英文:	Fabrication of In2O3 and In-Zn-O(IZO)Thin Films by Solution Process for Oxide-Channel Thin Film Transistors

著者

和文:	高橋泰裕, 徳光永輔.
英文:	Yasuhiro Takahashi, Eisuke Tokumitsu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

5P33

出版年月

2010年11月

出版者

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会議名称

和文:	薄膜材料デバイス研究会、第７回研究集会
英文:	THIN FILM MATERIALS & DEVICES MEETING

開催地

和文:	奈良１００年会館
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