High-Speed Gas Replacement in Plasma Process Chamber due to Precise Down-Flow of Gas Using a Upper Shower Plate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-Speed Gas Replacement in Plasma Process Chamber due to Precise Down-Flow of Gas Using a Upper Shower Plate

著者

和文:	森下貞治, 後藤哲也, 阿久津功, Ohyama Kenji, 伊藤隆司, 大見忠弘.
英文:	S.Morishita, T.Goto, I.Akutsu, K.Ohyama, T.Ito, T.Ohmi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Dry Process International Symposium （DPS2008）

巻, 号, ページ

pp. 63-64

出版年月

2008年11月

出版者

和文:
英文:	30th International Symposium on Dry Process

会議名称

和文:
英文:	30th International Symposium on Dry Process

開催地

和文:
英文:	Tokyo,Japan