La2O3  insulators prepared by ALD using La(iPrCp)3 source: self-limiting growth conditions and electrical properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	La2O3 insulators prepared by ALD using La(iPrCp)3 source: self-limiting growth conditions and electrical properties

著者

和文:	小澤健児, 幸田みゆき, Y. Urabe, T. Yasuda, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋.
英文:	Kenji Ozawa, Miyuki Kouda, Y. Urabe, T. Yasuda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010

開催地

和文:
英文:	Shanghai, China