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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effects of supercritical carbon dioxide treatment on bending properties of microsized SU-9 specimens 
著者
和文: 石山千恵美, TSO-FUMARK CHANG, 曽根正人.  
英文: CHIEMI ISHIYAMA, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectric Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 88        pp. 2272-2274
出版年月 2011年6月20日 
出版者
和文: 
英文:Elsevier 
会議名称
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英文: 
開催地
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