Void-free nickel pattern electroplated with supercritical carbon dioxide emulsions

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Void-free nickel pattern electroplated with supercritical carbon dioxide emulsions

著者

和文:	Tso-Fu Mark Chang, 田崎俊和, 石山千恵美, 曽根正人.
英文:	Tso-Fu Mark Chang, Toshikazu Tasaki, CHIEMI ISHIYAMA, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronics Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 88 pp. 2225-2228

出版年月

2011年6月20日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: